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高精度直线压电扫描台的特点及应用领域简析

高精度直线压电扫描台是以压电陶瓷作为驱动源,结合柔性铰链机构实现X轴、Z轴、XY轴、XZ轴、XYZ轴精密运动的压电平台,压电扫描台中心具有通孔且体积小巧、无摩擦、分辨率高、响应速度快,配置高精度传感器,可以实现纳米级分辨率及定位精度且具有极高的可靠性。产品主要应用于透光精密光学器件的定位与调整、生物显微与光学显微成像系统等。

特点

高分辨率

压电扫描台是以压电陶瓷作为驱动源,压电陶瓷是高精度致动器,通过控制电压的微小变化产生非常小的位移,可达到亚纳米级。

高精度直线压电扫描台特点及应用领域


多种通孔尺寸可选

从适用于小型设备(如红外热成像)的小通孔压电扫描台到大型设备(如大口径干涉仪)用的大通孔压电扫描台,多种规格型号可选。

高精度直线压电扫描台特点及应用领域

快速响应、抗干扰

压电纳米定位台由容性负载驱动,可产生毫秒级的响应时间,响应速度非常快,同时由于自身的材料特性,使其在使用过程中不受干扰,能够实现最大的性能输出。

高精度直线压电扫描台特点及应用领域

无磨损、低功耗

压电纳米运动系统采用有限元仿真分析优化柔性铰链结构,柔性导向系统具有超高的导向精度,具有高刚性、高负载、无磨损、免维护等特点。同时压电效应将电能直接转换为运动,在静态操作时,即使在负载情况下,也不会消耗功率。

高精度直线压电扫描台特点及应用领域


应用领域

原子力显微镜

闭环纳米定位扫描台作为原子力显微镜的一部分,可带动样品进行高速精密运动,可以实现X、Y、Z轴最大375μm的扫描,分辨率为亚纳米级,响应时间可达亚毫秒。

高精度直线压电扫描台特点及应用领域


三维共焦显微

三维共聚焦显微拉曼光谱分析仪器,能在纳米范围内测量物质化学状态的三维图像。压电物镜驱动器实现对显微镜在Z轴方向上的纳米级在线实时调焦,XY二维压电扫描台实现对被测物高精度的二维平面位移运动。

高精度直线压电扫描台特点及应用领域


红外热成像扫描

红外热成像通过红外敏感CCD对物体进行成像,能反映出物体表面的温度场。二维压电扫描台的高速高精度扫描大大提高了热成像的分辨率。

高精度直线压电扫描台特点及应用领域


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