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ASML宣布第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000,5nm产能大涨

2020-05-29 15:23
21IC电子网
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众所周知,荷兰ASML公司是全球唯一的EUV光刻机供应商,7nm及以下的工艺生产都要靠他们的设备。

不过ASML不只是光刻机厉害,今天他们宣布了另外一个新产品——第一代HMI多光束检测机HMI eScan1000,适用于5nm及更先进工艺,使得产能大涨600%。

随着制程工艺不断提升,晶圆的制造也越来越复杂,这也会导致晶圆中的错误更多,HMI eScan1000就是一套基于HMI多光束技术的检测系统,内部也有复杂的光电子系统,能够产生、控制多个电子束,然后根据反射回来的电子束成像来分析晶圆质量,并有高速运行的平台以控制测试的晶圆数量,还要有计算系统处理电子束的数据。

简单来说,ASML研发的这个HMI eScan1000机器就是一台验证先进工艺生产出来的晶圆质量的系统,工艺越先进,检测系统就越重要,它的检测精度、吞吐量决定了生产的效率。

目前HMI eScan1000可以用于5nm及以下先进工艺的晶圆测试,已经交付给客户进行测试验证,未来ASML还会推出光束更多的测试设备以满足客户对先进工艺的要求。

最值得一提的是,ASML的HMI eScan1000的突破之处在于能够同时产生、控制九道电子束,所以产能提升了600%,可以大大减少晶圆质量分析所用的时间。

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